特許
J-GLOBAL ID：200903008644729946
チツプ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-282749
公開番号（公開出願番号）：特開平5-118993
出願日： 1991年10月29日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】本発明は、チップが移動しても高精度にチップの形状検査を行うものである。【構成】チップを撮像する撮像装置(10)と、この撮像装置(10)の撮像により得られた画像データから少なくともチップ部分の面積及び重心を求め、このチップ面積と基準面積とを比較してチップの良否を判定する第1判定手段(16)と、この第1判定手段(16)により求められた重心位置から決まる基準輪郭とチップ形状とを比較してチップの良否を判定する第2判定手段(17)とを備えている。
請求項（抜粋）：
チップ母材から切り離されたチップの不良を検査するチップ検査装置において、前記チップを撮像する撮像装置と、この撮像装置の撮像により得られた画像データから少なくとも前記チップ部分の面積及び重心を求め、このチップ面積と基準面積とを比較して前記チップの良否を判定する第1判定手段と、この第1判定手段により求められた重心位置から決まる基準輪郭と前記チップ形状とを比較して前記チップの良否を判定する第2判定手段とを具備したことを特徴とするチップ検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
