特許

J-GLOBAL ID：200903008647919258

力検出装置

発明者： 高橋 淳一 ,  尾崎 元美
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259522
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109561
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：

【要約】【目的】 探針と試料表面との間に原子間力以外の静電引力が働くことがなく測定精度の向上を図ることが可能な力検出装置を提供する。【構成】 片持ち梁20の先端若しくは両持ち梁の中心にある探針21に加わる力により生じる曲がりを電気的検出手段22により検出することにより、探針21にある力を検出する力検出装置において、電気的検出手段22を片持ち梁20若しくは両持ち梁の梁の一部分Aに取付けた。

請求項（抜粋）：

片持ち梁の先端若しくは両持ち梁の中心にある探針に加わる力により生じる曲がりを電気的検出手段により検出することにより、前記探針に加わる力を検出する力検出装置において、前記電気的検出手段を前記片持ち梁若しくは前記両持ち梁の梁の一部分に取付けたことを特徴とする力検出装置。

IPC (3件)：

G01L 1/16 ,  G01B 21/30 ,  G01L 1/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-001949
  
• 特開平4-072504
  
• 特開昭63-309802