特許
J-GLOBAL ID：200903008651514076
マスフローコントローラの分流構造
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
木下 洋平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-073090
公開番号（公開出願番号）：特開平11-259141
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 主流路から流量測定流路へ流体を分岐させるマスフローコントローラの分流構造を簡素化し、流量調整を容易にすること。【解決手段】 上流側流路122と下流側流路124からなる主流路12と、主流路12から分岐する流量測定流路14を具えたマスフローコントローラの主流路12内に、円柱形状の流量調整部材20が配置されている。流量調整部材20には、流量調整部材20の軸方向に貫通し、軸に直角な断面が渦巻き状の貫通溝22が形成されており、上流側流路122から供給された流体の大部分は流量調整部材20の貫通溝22を通って下流側流路124へ流れるが、流量調整部材20の端面で流量が絞られた流体の一部は主流路12から分岐する流量測定流路14へ流入する。貫通溝22は、ワイヤー放電加工等で形成される。
請求項（抜粋）：
ベースに形成された上流側流路と下流側流路をつなぐ主流路と、前記上流側流路から分岐して前記下流側流路へ開口する流量測定流路を有し、前記主流路に横断面が円形の流量調整部材を具えたマスフローコントローラの分流構造において、前記流量調整部材の軸方向に貫通溝が形成されていることを特徴とする、マスフローコントローラの分流構造。
IPC (3件)：
G05D 7/06
, G01F 1/00
, G01F 1/68
G05D 7/06 Z
, G01F 1/00 X
, G01F 1/00 S
, G01F 1/68
