特許

J-GLOBAL ID：200903008654734212

微細加工方法及び情報記録方法

発明者： 魚崎 浩平
出願人/特許権者： 北海道ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 勝広 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-181572
公開番号（公開出願番号）：特開2002-355799
出願日： 2001年06月15日
公開日（公表日）： 2002年12月10日
要約：

【要約】【課題】 原子間力顕微鏡の原理を利用した微細加工方法の提供。【解決手段】 原子間力検出手段を備えた装置を用いた微細加工方法であって、該被加工試料と探針との間に、水を含有する非極性溶媒を存在させた上で、該探針に電圧をかけることによって被加工試料に微細な加工を施すことを特徴とする微細加工方法。

請求項（抜粋）：

被加工試料との間に生じる原子間力を検知することができる導電性探針を有する導電性カンチレバーと、該探針と被加工試料との間に原子間力によって生じた変位を検出する検出手段と、被加工試料上を走査するに際して該原子間力を一定量に保持するために探針と被加工試料との距離を一定に保持する制御手段と、被加工試料と該探針との間に電位を印加する手段とを備えた、原子間力検出手段を備えた装置を用いた微細加工方法であって、該被加工試料と探針との間に、水を含有する非極性溶媒を存在させた上で、該探針に電圧をかけることによって被加工試料に微細な加工を施すことを特徴とする微細加工方法。

IPC (4件)：

B81C 1/00 ,  G01N 13/16 ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/84

FI (4件)：

B81C 1/00 ,  G01N 13/16 A ,  G11B 5/65 ,  G11B 5/84 Z

Fターム (4件)：

5D006BB07 ,  5D112AA05 ,  5D112BB06 ,  5D112GA26