ボンデイング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小鍜治明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232829
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074838
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【目的】押圧ツールの位置制御を精密に行うことができるボンディング装置を提供する。【構成】先端部に押圧ツール2を保持するホーン1と、このホーン1が取り付けられたスライダ5と、このスライダ5を空気軸受7を介して上下方向にガイドするリニヤガイド6と、このスライダ5をこのリニヤガイド6に沿って上下動させるリニヤモータ4と、この押圧ツール2の高さ位置を測定するリニヤエンコーダ11とからボンディング装置を構成した。

請求項（抜粋）：

先端部に押圧ツールを保持するホーンと、このホーンが取り付けられたスライダと、このスライダを空気軸受を介して上下方向にガイドするリニヤガイドと、このスライダをこのリニヤガイドに沿って上下動させるリニヤモータと、この押圧ツールの高さ位置を測定するリニヤエンコーダとを備えたことを特徴とするボンディング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 301 , H01L 21/60 311

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭58-084434
特開昭59-193038

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