特許
J-GLOBAL ID：200903008662161787
イオンプレーティング用蒸発材
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
清水 敬一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-126412
公開番号（公開出願番号）：特開平5-320885
出願日： 1992年05月19日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 格段に速くかつ一定の蒸着速度で被膜を形成できるイオンプレーティング用蒸発材を提供する。【構成】 本発明によるイオンプレーティング用蒸発材は、イオンプレーティングのプラズマビームにより真空室内で蒸発可能な昇華性金属の焼結体又は圧粉成形体によって形成されかつ被着体に金属被膜を形成できるものである。昇華性金属の焼結体又は圧粉成形体を蒸発材として用いることにより、イオンプレーティングの際に金属イオンの生成が加速化され、従来のイオンプレーティング用蒸発材よりも格段に速い蒸着速度でかつ均一に被着体の表面に大きな膜厚の被覆を形成することができる。
請求項（抜粋）：
イオンプレーティング法に用いる蒸発材であって、プラズマビームにより真空室内で蒸発可能な昇華性金属の焼結体又は圧粉成形体によって形成されかつ被着体に金属被膜を形成できることを特徴とするイオンプレーティング用蒸発材。
引用特許：
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