特許

J-GLOBAL ID：200903008663074020

水素透過材料

発明者： 中川 伸一
出願人/特許権者： 矢崎総業株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-319689
公開番号（公開出願番号）：特開2002-126477
出願日： 2000年10月19日
公開日（公表日）： 2002年05月08日
要約：

【要約】【課題】 高い水素透過速度と優れた水素分離性能を有する水素透過材料を提供する。【解決手段】 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタリングによる銀-パラジウム合金からなる水素選択透過性膜を有することを特徴とする水素透過材料。

請求項（抜粋）：

誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタリングによる銀-パラジウム合金からなる水素選択透過性膜を有することを特徴とする水素透過材料。

IPC (4件)：

B01D 71/02 500 ,  B01D 53/22 ,  C01B 3/56 ,  H01M 8/06

FI (4件)：

B01D 71/02 500 ,  B01D 53/22 ,  C01B 3/56 Z ,  H01M 8/06 R

Fターム (30件)：

4D006GA41 ,  4D006MA02 ,  4D006MA22 ,  4D006MB04 ,  4D006MC02 ,  4D006MC02X ,  4D006MC03 ,  4D006MC03X ,  4D006NA31 ,  4D006NA63 ,  4D006NA64 ,  4D006PA02 ,  4D006PB66 ,  4D006PC80 ,  4G040FA02 ,  4G040FA06 ,  4G040FB04 ,  4G040FB05 ,  4G040FB09 ,  4G040FC01 ,  4G040FE01 ,  4G140FA02 ,  4G140FA06 ,  4G140FB04 ,  4G140FB05 ,  4G140FB09 ,  4G140FC01 ,  4G140FE01 ,  5H027AA02 ,  5H027BA16