特許
J-GLOBAL ID：200903008666360288
プラズマエツチング用電極板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-271611
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129241
出願日： 1991年10月21日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 化学的安定性、純度、耐消耗性、非発塵性、形状安定性、発生プラズマの均質性に優れたプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 ガラス状炭素の表面にダイヤモンドを被覆してなるプラズマエッチング用電極板。
請求項（抜粋）：
ガラス状炭素の表面にダイヤモンドを被覆してなるプラズマエッチング用電極板
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭62-281426
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特開昭61-006198
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