特許
J-GLOBAL ID：200903008672998987
静電容量形圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-203520
出願日： 1992年01月23日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：
【要約】【目的】 加圧力がゼロのときの静電容量のバラツキをなくし、圧力測定における直線性を確保し、圧力測定精度を上げる。【構成】 第1基板1と第2基板2を有し、第1基板1と第2基板2は所定間隔離して配置され、圧力が加わった時に生じる第1基板1と第2基板2の間での静電容量の変化を検出する静電容量形圧力センサにおいて、第1基板1と第2基板2の間にリング状もしくはアーク状の電極5を配置している。
請求項（抜粋）：
第1基板(1)と第2基板(2)を有し、第1基板(1)と第2基板(2)は所定間隔離して配置され、圧力が加わった時に生じる第1基板(1)と第2基板(2)の間での静電容量の変化を検出する静電容量形圧力センサにおいて、第1基板(1)と第2基板(2)の間にリング状もしくはアーク状の電極(5)を配置した静電容量形圧力センサ。
IPC (2件)：
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