特許

J-GLOBAL ID：200903008673782694

酸化亜鉛透明導電膜

発明者： 山本 哲也 ,  中原 健
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 河村 洌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-234945
公開番号（公開出願番号）：特開2002-050229
出願日： 2000年08月02日
公開日（公表日）： 2002年02月15日
要約：

【要約】【課題】 ZnOの抵抗率を下げ、ITOの抵抗率より低い抵抗率を有する酸化亜鉛透明導電膜を提供する。【解決手段】 ZnO結晶層にドーパントとして、たとえばGaのようなIII族元素などのn型ドーパントと、たとえばNのようなV族元素などのp型ドーパントとがドーピングされ、そのn型ドーパントがp型ドーパントより多く、かつ、n型ドーパントが1×1018cm-3以上の不純物濃度にドーピングされている。

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛層と、該酸化亜鉛層にドーパントとしてn型ドーパントとp型ドーパントとがドーピングされ、該n型ドーパントがp型ドーパントより多く、かつ、該n型ドーパントが1×1018cm-3以上の不純物濃度にドーピングされてなる酸化亜鉛透明導電膜。

IPC (4件)：

H01B 5/14 ,  G02B 1/10 ,  H01L 31/04 ,  G02F 1/1343

FI (5件)：

H01B 5/14 A ,  G02F 1/1343 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 H

Fターム (12件)：

2H092HA03 ,  2H092KA19 ,  2H092KB14 ,  2H092NA28 ,  2K009CC03 ,  2K009DD03 ,  2K009EE03 ,  5F051BA11 ,  5F051FA02 ,  5F051FA24 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 透明導電膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-204960   出願人：旭硝子株式会社