特許
J-GLOBAL ID：200903008674797229
ウェーハのコンタミ検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-292467
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135158
出願日： 1996年11月05日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】ダイシングによって発生するコンタミ(切削屑)がウェーハ表面に付着しているか否かを判別し、付着しているときにはその付着量を判別する。【解決手段】ウェーハの表面を撮像手段により撮像し、撮像手段から出力される画像情報に画像処理手段において所定の処理を施し、画像処理後の情報に基づき判別手段においてウェーハ表面へのコンタミの付着の有無及び付着量を判別するウェーハのコンタミ検出装置を提供する。
請求項（抜粋）：
ウェーハの表面を撮像して画像情報を出力する撮像手段と、該撮像手段から出力される画像情報に所定の処理を施す画像処理手段と、該画像処理手段における処理後の情報に基づき、ダイシングにより前記ウェーハの表面に付着したコンタミの状態を判別し、その付着の状態が許容値を超えているか否かを判別する判別手段と、からなることを特徴とするウェーハのコンタミ検出装置。
FI (2件)：
H01L 21/78 P
, H01L 21/78 Z
