特許
J-GLOBAL ID：200903008675355793
レーザ照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206586
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036060
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 レーザ照射装置から出力されるレーザビームのエネルギー強度分布を軸対称化する。【解決手段】 レーザ照射装置は共通の光軸に沿って直列的に配された少なくとも二台のレーザユニット1,2を含んでおり、各々光軸方向にレーザビームを発振して加工対称物の表面を照射する。各レーザユニット1,2は、光軸と直交する方向に極性を有し、これに依存してレーザビームLB1,LB2のエネルギー強度が光軸に関して非対称分布を生じている。二台のレーザユニット1,2は互いの極性を打ち消す様に反対配置されており、これに応じて2本のレーザビームLB1,LB2に生じたエネルギー強度の非対称性分布を互いに打ち消し、エネルギー強度が対称分布に補正された1本のレーザビームLBとして加工対称物を照射する。
請求項（抜粋）：
共通の光軸に沿って直列的に配された少なくとも二台のレーザユニットを含んでおり、各々光軸方向にレーザビームを発振して加工対称物の表面を照射するレーザ照射装置であって、各レーザユニットは、光軸と直交する方向に極性を有し、これに依存してレーザビームのエネルギー強度が光軸に関して非対称分布を生じており、二台のレーザユニットは互いの極性を打ち消す様に反対配置されており、これに応じて2本のレーザビームに生じたエネルギー強度の非対称分布を互いに打ち消し、エネルギー強度が対称分布に補正された1本のレーザビームとして加工対称物を照射する事を特徴とするレーザ照射装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/268 B
, H01L 21/20
