特許
J-GLOBAL ID：200903008676237000
投影露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-128370
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326366
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 半導体素子のリソグラフィ工程で使われる通常のレチクルを投影露光する際、高解像度で大焦点深度が得られるとともに、照度均一性の優れた投影露光装置を得る。【構成】 第1〜第3プリズム20〜22を用いて光源1からの照明光束を4分割して、この4つの光束を照明光学系の光軸AXから偏心した位置に中心が配置された4組のフライアイレンズ(40a〜40d、41a〜41d)の各々に入射させる。主制御系50は、4組のフライアイレンズの位置変更に連動して第1〜第3プリズム20〜22の各々を光軸方向に移動し、常に4つの光束をその対応した各フライアイレンズに正確に入射させる。
請求項（抜粋）：
光源からの照明光を周期性のパターン部分を有するマスクに照射する照明光学系と、前記マスクのパターンの像を感光基板に結像投影する投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記照明光学系の光路中の前記マスクのパターンに対するフーリエ変換面、もしくはその近傍面内に射出側焦点面が配置されるとともに、前記マスクのパターンの周期性に応じて決まる量だけ前記照明光学系の光軸に対して偏心した離散的な4つの位置の各々に中心が配置される4組のフライアイレンズと;前記光源からの照明光を2分割するとともに、該分割した2本の光束の各々を、前記照明光学系の光軸とほぼ垂直な面内で、所定の第1方向に関して前記光軸から所定の第1距離だけ離してほぼ平行に射出する第1光束分割部材と;該射出された2本の光束の各々を2分割するとともに、該分割した2組の2本の光束の各々を、前記照明光学系の光軸とほぼ垂直な面内で、前記第1方向と交差する第2方向に関して前記光軸から所定の第2距離だけ離してほぼ平行に射出する第2光束分割部材と;前記4組のフライアイレンズの各々に、前記第2光束分割部材から射出される4本の光束が入射するように、前記第1光束分割部材と前記第2光束分割部材との少なくとも一方を駆動して前記第1距離と前記第2距離との少なくとも一方を調整する制御手段とを備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
