特許

J-GLOBAL ID：200903008678577142

顕微鏡用透過照明装置

発明者： 松本 勝 ,  土坂 新一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-311857
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166544
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】コンデンサレンズを移動させることなく、対物レンズ移動型の顕微鏡において透過照明を実現することが可能で、しかも大型標本の全域に亘って均一な照明を行なうことができる、構成が簡単で安価に製作可能な顕微鏡用透過照明装置を提供する事。【構成】大径ガラスウエハや大型液晶基板等の比較的大きな標本2を検査するために用いられる対物レンズ移動型の顕微鏡に用いられる透過照明装置において、透過照明のための光を発する光源11と、この光源11より発せられた光を一平面に沿った偏平状の光線に変換して出射するラインファイバ12と、このラインファイバ12から出射された前記偏平状の光を集光して前記標本2に照射するシリンドリカルレンズ13とを具備。

請求項（抜粋）：

大径ガラスウエハや大型液晶基板等の比較的大きな標本を検査するために用いられる対物レンズ移動型の顕微鏡に用いられる透過照明装置において、透過照明のための光を発する光源と、この光源より発せられた光を一平面に沿った偏平状の光線に変換して出射する光線形状変換手段と、この光線形状変換手段から出射された前記偏平状の光を集光して前記標本に照射するシリンドリカルレンズと、を具備したことを特徴とする顕微鏡用透過照明装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-189606
  
• 顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-285141   出願人：株式会社ニコン