特許

J-GLOBAL ID：200903008679220680

圧電型加速度センサ

発明者： 鈴木 一則 ,  斎藤 正博
出願人/特許権者： 株式会社トーキン
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035675
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235041
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子としてのダイヤフラムの応力の分布を均一にできると共に、歩留り良く製造可能な圧電型加速度センサを提供すること。【解決手段】 この接着型ユニモルフ構造の圧電型加速度センサの場合、重り3と固定台4との金属板2面に接合される端面近傍の側面部分の箇所のうち、固定台4の金属板2の外方に向かう側面部分以外には、それぞれダイヤフラム1における一方の主面及び他方の主面に対して垂直な方向においてダイヤフラム1の厚さの1/2以下の寸法で金属板2面に向かって滑らかに先太りとなるように曲面処理が施されて成る曲面処理部3a,4aとなっている。これらの重り3の曲面処理部3a及び固定台4の曲面処理部4aの曲面処理は、ダイヤフラム1の厚さの1/8〜1/2の範囲の寸法で施されており、更にダイヤフラム1の厚さを1としたときに0.1〜0.25の曲率半径Rに基づいて施されている。

請求項（抜粋）：

圧電セラミックにより可撓性が持たされて成る薄板状の圧電素子としてのダイヤフラムと、前記ダイヤフラムの一方の主面上にX,Y,Zの3軸成分が独立して形成された検出パターン電極と、前記ダイヤフラムの前記一方の主面に対向する他方の主面の全面に形成された対向電極と、前記ダイヤフラムにおける前記対向電極に一方の主面側が接着される金属板と、前記金属板の前記一方の主面に対向する他方の主面における前記ダイヤフラムの中心部に対応する位置に接着される所定の重さの重りと、前記金属板の前記他方の主面における前記重りの外方であって、且つ前記ダイヤフラムの外周部に対応する位置に接着される固定台とを備えた圧電型加速度センサにおいて、前記重り及び前記固定台の前記金属板における前記他方の主面に接合される端面近傍の側面部分のうちの少なくとも一箇所は、前記ダイヤフラムにおける前記一方の主面及び前記他方の主面に対して垂直な方向において該ダイヤフラムの厚さの1/2以下の寸法で該金属板における該他方の主面に向かって滑らかに先太りとなるように曲面処理が施されて成る曲面処理部であることを特徴とする圧電型加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/09 ,  G01H 11/08 ,  G01P 15/00

FI (3件)：

G01P 15/09 ,  G01H 11/08 C ,  G01P 15/00 K

Fターム (12件)：

2G064AB02 ,  2G064AB19 ,  2G064BA02 ,  2G064BA08 ,  2G064BD18 ,  2G064BD25 ,  2G064BD27 ,  2G064BD36 ,  2G064BD53 ,  2G064BD56 ,  2G064BD60 ,  2G064DD32