特許

J-GLOBAL ID：200903008682528091

光強度測定素子、撮像素子、空間像測定装置並びに露光装置

発明者： 竹内 仁
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-010451
公開番号（公開出願番号）：特開2000-205946
出願日： 1999年01月19日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 遠紫外領域の入射光の強度を正確かつ迅速に測定可能な光強度測定素子、撮像素子、空間像測定装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 一対の電極29,30間に導電物質31を介装して、光強度測定素子25を構成する。光強度測定素子25を複数個連続するように配列して、撮像素子24を構成する。前記導電物質31は、インジウム・スズ酸化物(ITO)、アンチモン・スズ酸化物(ATO)等の薄膜または塗布膜等で構成し、露光光の受光により電極29,30間から散逸するようにする。これにより変化した導電物質31の電気抵抗特性に基づいて露光光の強度を検出し、入射した空間像を測定する。

請求項（抜粋）：

入射光の強度を測定する光強度測定素子において、一対の電極と、その電極間に設けられる導電物質と、前記導電物質の特性変化に基づいて前記入射光の強度の情報を検出する検出手段とを有することを特徴とする光強度測定素子。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01J 1/02 R ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 516 C

Fターム (13件)：

2G065AA04 ,  2G065AB05 ,  2G065AB09 ,  2G065AB26 ,  2G065BA04 ,  2G065BA34 ,  2G065DA05 ,  5F046BA03 ,  5F046DA01 ,  5F046DA12 ,  5F046DB01 ,  5F046DC11 ,  5F046GA14