特許

J-GLOBAL ID：200903008688036115

硬質炭素被膜が形成された回転圧縮機

発明者： 平野 均 ,  蔵本 慶一 ,  堂本 洋一 ,  樽井 久樹
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 安富 耕二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083268
公開番号（公開出願番号）：特開平11-280680
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 硬質炭素被膜を高負荷荷重下で使用する部材に形成すると、摺動することによって摺動部が高温になり、硬質炭素被膜が初期特性から変化し、熱によってその硬度が減少すると共に、耐摩耗性が悪くなり、当初の硬質炭素被膜の優れた特性を示さなくなる。【解決手段】 本発明の硬質炭素被膜は、基体に対するイオンビームの照射によって該基体上に形成される硬質炭素被膜の膜中の水素量が20%以下であり、且つイオンビームのエネルギーが200eV以上であることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

回転するクランク軸の偏心部に取り付けられた、外周面を有するローラと、前記ローラを収納し、前記ローラの外周面に接して摺動する摺動面を内面に有するシリンダと、前記シリンダの内面に形成された溝内に収納され、先端部が前記ローラの外周面に接して摺動するベーンとを備え、前記ベーンの少なくとも先端部または側面部に、イオンビームを照射することによって該ベーン上に形成される硬質炭素被膜の膜中の水素量を20%以下としたことを特徴とする硬質炭素被膜が形成された回転圧縮機。

IPC (3件)：

F04C 18/356 ,  C23C 14/06 ,  F04C 29/00

FI (4件)：

F04C 18/356 P ,  F04C 18/356 K ,  C23C 14/06 F ,  F04C 29/00 U