特許
J-GLOBAL ID：200903008689230950
ガスセルの製造方法及びガスセル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-055876
公開番号（公開出願番号）：特開2009-212416
出願日： 2008年03月06日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：
【課題】ダイシング面をレーザ光の透過窓とし、且つガス導入路を金属溜り部としたガスセルを製造することが可能となり、量産性に優れ、且つ良好な光学窓を有するガスセルの製造方法を提供する。【解決手段】本発明のガスセル製造方法は、工程Aとして、ガラス基板1にガス導入筒部3が突出した加工ガラス基板20が完成する。工程Bとして、矩形の第2の貫通口5を有する加工ガラス基板21が完成する。工程Cとして、矩形の凹部7を有する加工ガラス基板22が完成する。工程Dとして、ガラス基板積層体23内部にアルカリ金属蒸気を貯留するガス貯留部9を形成し、不活性雰囲気下でガス導入筒部3の開口部3aからルビジウム(アルカリ金属)ガス8を充填して開口部3aを溶着させて封止し、切断線25に沿ってダイシングする。その結果、ガス貯留部9の各面と平行な面A〜Dを有するガスセル26が完成する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
複数の第1の貫通口、及び各第1の貫通口の表面側開口に突設されたガス導入筒部を備えた第1の透明基板を用意する工程と、
前記第1の透明基板の各第1の貫通口と連通可能な位置に該第1の貫通口よりも大径であり且つ矩形状の第2の貫通口を備えた第2の透明基板を用意する工程と、
第3の透明基板を用意する工程と、
前記第1の透明基板の裏面側に前記第2の透明基板と前記第3の透明基板を順次積層して接合することにより前記第1及び第2の貫通口から成る複数の空所を備えた透明基板積層体を形成する透明基板積層工程と、
前記各ガス導入筒部から前記透明基板積層体の各空所内にアルカリ金属蒸気を充填して封止する封止工程と、
前記透明基板積層体を、前記各空所間に位置する透明基板材料の肉厚内で切断することにより複数個のガスセルを形成する工程と、を備えたことを特徴とするガスセルの製造方法。
IPC (3件)：
H01S 1/06
, C03C 19/00
, C03B 33/07
H01S1/06
, C03C19/00 Z
, C03B33/07
4G015FA01
, 4G015FB01
, 4G015FC10
, 4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AB01
, 4G059AB03
, 4G059AB09
, 4G059AB11
, 4G059AC03
