特許
J-GLOBAL ID：200903008690953168
洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-276603
公開番号（公開出願番号）：特開平8-134498
出願日： 1994年11月10日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：
【要約】【目的】 洗浄液の組成変化を抑制して洗浄液のもつ洗浄能力を維持させ、洗浄液の管理を容易にし、さらにオゾン層の破壊を防ぐ。【構成】 洗浄液が収容された複数の洗浄槽1〜Nを被洗浄物の移送方向と逆方向に洗浄液が順に送られるように連結する。これら洗浄槽1〜Nにより被洗浄物を順に洗浄しつつ、洗浄槽のうち第1洗浄槽1から洗浄液を排出し、排出した洗浄液を蒸留した後、蒸留された洗浄液を最終洗浄槽Nに供給する。記洗浄液が化1または化2で表される揮発性低分子ジメチルシロキサンから選ばれた1種である。【化1】【化2】
請求項（抜粋）：
洗浄液が収容された複数の洗浄槽を被洗浄物の移送方向と逆方向に洗浄液が順に送られるように連結し、これら洗浄槽により被洗浄物を順に洗浄しつつ、洗浄槽のうち第1洗浄槽から洗浄液を排出し、排出した洗浄液を蒸留した後、蒸留された洗浄液を最終洗浄槽に供給する洗浄方法において、前記洗浄液が化1または化2で表される揮発性低分子ジメチルシロキサンから選ばれた1種であることを特徴とする洗浄方法。【化1】【化2】
IPC (2件)：
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