特許
J-GLOBAL ID:200903008696894953

気密容器の製造方法及び画像表示装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山下 穣平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-049202
公開番号(公開出願番号):特開2000-251719
出願日: 1999年02月25日
公開日(公表日): 2000年09月14日
要約:
【要約】【課題】 封着工程における配線、電子放出部等の表示装置を構成する部材の酸化、ならびに寿命や電子放出量に影響を及ぼす非蒸発型ゲッタ材の吸着特性が低下するのを防止し、安定かつ長寿命な高品位の画像表示装置の製造方法を提供することである。【解決手段】 外囲器を構成する複数の部材をシール材にて加熱接着する封着工程において、前面基板と背面基板とを外枠でもって各々所定の間隔で配置してなる外囲器が、2本以上の管を有し、不活性ガスを2本以上の管のうち少なくとも1本の管を介して所定の流量を前記外囲器内に導入し、かつ残りの管を介して外囲器内に導入した不活性ガスを外囲器外へ排出しつつ封着すること、及び封着温度からの冷却時に、シール材の軟化点以下になった時点で、不活性化ガスの供給を停止し前記外囲器内を排気する画像表示装置の製造方法。
請求項(抜粋):
複数の部材をシール材を用いて真空気密した外囲器内に、非蒸発型ゲッタを配置した画像表示装置の封着工程において、第1の工程として、部材間にシール材を配置する工程を有し、第2の工程として、部材を介してシール材に荷重を印加する手段と、外囲器内に不活性ガスを所定の流量流す手段及び、外囲器及びシール材を加熱する手段を有することで部材及びシール材を封着温度まで不活性ガスを流しながら加熱封着する工程を有し、かかる第2の工程において、冷却時に部材及びシール材がシール材の軟化点以下になった時点で不活性ガスの供給を停止し、外囲器内を真空排気する工程を特徴とする気密容器の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/26 ,  H01J 9/385
FI (2件):
H01J 9/26 A ,  H01J 9/385 A
Fターム (2件):
5C012AA01 ,  5C012PP08

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