特許

J-GLOBAL ID：200903008699165006

像位置誤差検出装置、露光方法及び露光装置

発明者： 竹越 秀和
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-263180
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077794
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 ビーム位置の検出手段に改良を加え、高精度のビーム位置調整を行うことのできる露光装置等を提供する。【解決手段】 スリット33a、33bが検出用パターン10a、10bに対して、図の左方向にずれている。このずれ量をΔxとすると、(V1とV2間の距離)-(V2とV3間の距離)=-2C×Δx/Bという関係式が成り立つ。つまり、検出用パターンがX方向にずれた時には、(V1とV2間の距離)-(V2とV3間の距離)を検出することにより、測定できる。また、ここで例えば、CがBの4倍となるように検出用パターン10a、10bとスリット33a、33bを形成すれば、ずれ量Δxが8倍となって検出することができる。

請求項（抜粋）：

エネルギビームの結像位置の誤差を検出する装置であって、前記エネルギビームを所定のビーム形状に成形する手段と、該ビームの結像面に配置された、所定のマーク形状に成形されたスリットを有するマーク板と、該スリットを通過する前記ビームを画像化する手段と、を具備し、前記ビーム形状と前記マーク形状が、前記ビームの結像位置の誤差が増幅されて前記スリットを通過するビームの形状に表れるように特性付けられていることを特徴とする像位置誤差検出装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 ,  H01J 37/305

FI (8件)：

G03F 7/20 504 ,  G03F 9/00 H ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 K ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 529 ,  H01L 21/30 531 J ,  H01L 21/30 541 N

Fターム (15件)：

2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097KA03 ,  2H097KA20 ,  2H097KA28 ,  2H097LA10 ,  5C034BB05 ,  5C034BB07 ,  5F046BA07 ,  5F046FA04 ,  5F046FA10 ,  5F046FC04 ,  5F056BA05 ,  5F056BD06 ,  5F056CB33