特許

J-GLOBAL ID：200903008704181902

内面反射ミラーおよびその製造方法

発明者： 塚本 征徳
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-331055
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149005
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】【課題】 内面反射ミラーの短波長側の反射率を高めて、分光特性を平坦にするとともに耐久性を向上させる。【解決手段】 プラスチック製またはガラス製の基体10の表面に、その屈折率より高い屈折率を有するSiO膜21とZnS膜22とAl2 O3 膜23からなるアンダーコート20を配設し、その上にAgの反射膜30を成膜し、その上にCr膜41とAl2 O3 膜42とSiO2 膜43からなるオーバーコート40を設ける。アンダーコート20のSiO膜21は基体10に対する付着力が高く、ZnS膜22等は短波長側の反射率を強化する。

請求項（抜粋）：

透明な基体の表面に配設されたアンダーコートと、該アンダーコートの上に成膜された金属の反射膜と、該反射膜の上に配設されたオーバーコートを有し、前記アンダーコートが、前記基体の屈折率より高い屈折率を有する誘電体膜とZnS膜を含んでいることを特徴とする内面反射ミラー。

IPC (4件)：

G02B 5/08 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G02B 1/10

FI (5件)：

G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 C ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 1/10 Z