特許
J-GLOBAL ID：200903008708012846
ウエハ厚さ測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-035258
公開番号（公開出願番号）：特開2000-234912
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】光ヘテロダイン干渉測定器を用いてその光の波長を超えるウエハの厚さが高精度に測定できるウエハ厚さ測定装置を提供することにある。【解決手段】試料片(例えばウエハ片)をその複数の測定点において絶対的な距離測定となる第1および第2の検出器により検出値を得て、同時に光ヘテロダイン干渉測定装置による相対的な距離測定となる変位量の測定値と得て、これらの測定値を対応付けて複数個測定データとして記憶しておき、ウエハの厚さ測定時に、このような対応付けの測定値を得た試料片の高さ範囲にある表裏高さ面を持つウエハの測定点で測定を行い、第1および第2の検出器の検出値を得て、この検出値から前記の対応付けデータを参照して逆引きして、それぞれの検出値を試料片の厚さを基準としてそこからの相対変位量のデータに変換することで、試料の厚さを基準としたそれぞれの相対的な表裏の位置ずれ量(距離)を得て、基準となる試料片の厚さから表裏のずれ量分を加減算することで測定すべきウエハの厚さを算出するものである。
請求項（抜粋）：
光ヘテロダイン干渉測定装置によるウエハ厚さ測定装置であって、前記ウエハの高さ位置に対応して配置され前記ウエハの撓みによる傾斜角に実質的に対応する所定の角度で傾斜して配置され前記ウエハと等価の既知の一定の厚さを有する試料片と、前記ウエハの表面側の所定の基準位置から前記光ヘテロダイン干渉測定装置の測定点に対応する前記ウエハの表面位置までの距離に応じた検出信号を発生する第1の検出器と、前記ウエハの裏面側の所定の基準位置から前記光ヘテロダイン干渉測定装置の測定点に対応する前記ウエハの裏面位置までの距離に応じた検出信号を発生する第2の検出器と、前記試料片の前記表面あるいは裏面の変位量を多数の測定点において前記光ヘテロダイン干渉測定装置により測定し、このときに各前記測定点で得られる前記第1および第2の検出器の前記検出信号による検出値を各前記測定点対応にその測定点の前記変位量に対応して記憶するデータ採取/記憶手段とを備え、表裏が前記試料片の表裏の高さ範囲にある前記ウエハの任意の測定点において前記第1および第2の検出器の検出信号によるそれぞれの検出値を得て、このそれぞれの検出値からデータ採取/記憶手段により記憶された前記光ヘテロダイン干渉測定装置により測定された前記検出値に対応する前記変位量をそれぞれ得て、得られたそれぞれの変位量と前記試料片の厚さとに基づいて前記ウエハの厚さを算出することを特徴とするウエハ厚さ測定装置。
Fターム (25件)：
2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065AA30
, 2F065BB01
, 2F065CC19
, 2F065FF44
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065GG23
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ16
, 2F065LL17
, 2F065LL32
, 2F065LL35
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065MM04
, 2F065PP13
, 2F065QQ03
, 2F065QQ23
, 2F065QQ25
, 2F065SS13
