特許
J-GLOBAL ID：200903008719494842
吸脱着量測定方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小越 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-189611
公開番号（公開出願番号）：特開2004-028956
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：
【課題】環境中に存在する物質の吸脱着量をナノグラムからピコグラムの質量変化量として測定する微小質量測定装置及び微小質量測定方法を提供する。【解決手段】先端に吸着種を備えたカンチレバーを測定環境にさらして物質や分子を吸脱着させる前後において、カンチレバーを振動させながらカンチレバーの振動中心と基板表面との距離を接近及びその後離間させ、この動作中の振動振幅、位相、周波数又は基板とカンチレバーの振動中心間の距離を測定し、吸脱着前後における最大振動振幅の変化量、最大振幅となる距離の変化量、位相の変化量、周波数の変化量等の、振動しながらカンチレバーが基板に接近又は離脱する挙動に伴う物理量の変化から吸脱着による質量増減量を測定する吸脱着量測定方法。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
先端に吸着種を備えたカンチレバーを測定環境にさらして物質や分子を吸脱着させる前後において、カンチレバーを振動させながらカンチレバーの振動中心と基板表面との距離を接近及びその後離間させ、この動作中の振動振幅、位相、周波数又は基板とカンチレバーの振動中心間の距離を測定し、吸脱着前後における最大振動振幅の変化量、最大振幅となる距離の変化量、位相の変化量、周波数の変化量等の、振動しながらカンチレバーが基板に接近又は離脱する挙動に伴う物理量の変化から吸脱着による質量増減量を測定する吸脱着量測定方法。
IPC (5件)：
G01N13/16
, G01G3/00
, G01G3/16
, G01G9/00
, G01N5/02
G01N13/16 A
, G01G3/00 Z
, G01G3/16
, G01G9/00
, G01N5/02 A
