特許
J-GLOBAL ID：200903008725048609
気相成長用炉芯管
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-346865
公開番号（公開出願番号）：特開平7-193012
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 筒状流路におけるキャリアガスの流量分布を周方向に関して均一にすることができる気相成長用炉芯管を提供すること。【構成】 中空のリング形状のガス整流手段13を備え、内管11の外周面と外管12の内周面の間に筒状流路5を形成し、筒状流路5の上端と内管11の内側を互いに連通させ、スリット13aをガス整流手段13に肉厚方向に形成し、スリット13aを介して筒状流路5の下端とガス整流手段13を互いに連通させることを特徴とする気相成長用炉芯管。
請求項（抜粋）：
中空の管形状の内管と、中空の管形状の外管と、中空のリング形状のガス整流手段とをそれぞれ別体として設け、内管を外管に同軸状に内挿し、内管の外周面と外管の内周面の間に筒状流路を形成し、筒状流路の上端と内管の内側を互いに連通させ、スリットをガス整流手段に肉厚方向に形成し、ガス整流手段のスリットを介して筒状流路とガス整流手段を互いに連通させたことを特徴とする気相成長用炉芯管。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C30B 25/14
, H01L 21/31
