ドットマークの読み取り装置と読み取り方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：野口武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029102
公開番号（公開出願番号）：特開平11-214299
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】【課題】微小寸法や薄膜が形成されてもドットマークの視認性が確保できる読み取り装置を提供する。【解決手段】ドットマークの形成面に光を照射し、その反射光を受像器(5) で受け、同受像器(5) からの画像を画像処理して前記ドットマークを読み取る方法であって、光反射面が焦点(O,O′) を有するドットマークが形成されたドットマーク形成面に略平行な光を照射して、前記ドットマークの光反射面からの反射光の焦点位置に対物レンズ(1) の焦点位置を合わせて受像器(5) で受け、これを画像処理するする。こうすることにより、前記反射光の最も輝度の高い部分を画像処理により認識できるようになり、例えドット寸法やドット深さが小さいマークであっても確実に読み取ることが可能となる。

請求項（抜粋）：

ドットマークの形成面に平行光を照射し、その反射光を受像器で受け、同受像器からの画像を画像処理して前記ドットマークを読み取る装置であって、前記ドットマークの反射面が焦点を有してなり、前記ドットマークの形成面をほぼ平行な光で照射する照射光学系と、前記ドットマークの形成面からの反射光を受光する受像器と、同受像器からの画像データを処理する画像処理手段と、前記受像器及びドットマークの形成面の間に配される対物レンズと、前記反射光の焦点の位置合わせ手段とを有し、前記対物レンズの配設位置が、前記対物レンズの焦点と前記反射光の焦点とがほぼ合致する位置であることを特徴とする微小ドットマークの読み取り装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G01B 11/24 , B23K 26/00 , H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/30 502 G , G01B 11/24 F , B23K 26/00 B , H01L 21/02 A

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