特許

J-GLOBAL ID：200903008740475637

帯電除去用セラミックスおよびその製造用組成物

発明者： 篠原 伸広
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325966
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151084
出願日： 1992年11月11日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】半導体装置等の電気部品が放電で破壊されるのを防止でき、かつ高強度の帯電除去用セラミックスを提供する。【構成】Si3 N4 マトリックス中にTi、Zr、Hf、Nb、Taから選ばれる金属の窒化物とSiCを含有し、106 〜9×1010Ω/cm2 の範囲の面抵抗率を有するセラミックスとする。また、Si3 N4 、上記金属窒化物、SiC粉末に焼結助剤を配合して帯電除去用セラミックス製造用組成物を得る。

請求項（抜粋）：

Si3 N4 を主成分とするマトリックス中にTi、Zr、Hf、NbおよびTaから選ばれる少なくとも一種の金属の窒化物と、SiCとを含有してなり、面抵抗率が1×106 〜9×1010Ω/cm2 の範囲にあり、相対密度が90%以上であり、かつ室温における曲げ強度が60kg/mm2 以上であることを特徴とする帯電除去用セラミックス。

IPC (2件)：

H05F 1/00 ,  C04B 35/58 102