特許

J-GLOBAL ID：200903008743828670

微粒子電気抵抗測定装置

発明者： 佐藤 洋一 ,  松崎 純一
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-004808
公開番号（公開出願番号）：特開平9-196978
出願日： 1996年01月16日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】【課題】 圧子と単一の微粒子との位置決めを容易にし、任意の圧縮率下での単一の微粒子の電気特性を、精度良く、容易に測定する微粒子電気抵抗測定装置を提供すること。【解決手段】 一方の電極をなす試料台2と他方の電極をなす圧子3との間に微粒子Wを挟み、圧子3によって微粒子Wに圧縮荷重を与えた状態で試料台2と圧子3との間に電流を流し、任意の圧縮率における微粒子Wの電気抵抗値を測定する電気抵抗測定装置において、試料となる微粒子Wを載せた試料台2を平面内で移動させるXYステージ1と、試料台2に載せられた微粒子Wを撮像するCCDカメラ11と、CCDカメラ11による映像信号によって圧子3のサイズに対応する計測範囲内に単独で微粒子が存在する領域を探索する画像処理装置13と、画像処理装置13により探索された微粒子Wが圧子3の直下に位置するようにXYステージ1を制御する制御手段(CPU8)とを設ける。

請求項（抜粋）：

一方の電極をなす試料台と他方の電極をなす圧子との間に微粒子を挟み、前記圧子によって前記微粒子に圧縮荷重を与えた状態で前記試料台と前記圧子との間に電流を流し、任意の圧縮率における前記微粒子の電気抵抗値を測定する電気抵抗測定装置において、試料となる微粒子を載せた試料台を平面内で移動させる移動手段と、前記試料台に載せられた微粒子を撮像する撮像手段と、前記撮像手段による映像信号によって前記圧子のサイズに対応する計測範囲内に単独で微粒子が存在する領域を探索する画像処理装置と、前記画像処理装置により探索された微粒子が前記圧子の直下に位置するように前記移動手段を制御する制御手段と、を有していることを特徴とする微粒子電気抵抗測定装置。