特許
J-GLOBAL ID：200903008744904818
スピンコータ
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
佐藤 幸男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318873
公開番号（公開出願番号）：特開平10-137667
出願日： 1996年11月14日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】【課題】 比較的容易に均一なコート膜(12)を得ることのできるスピンコータ10を提供する。【解決手段】 表面に塗布液12が供給される半導体ウエハ11を支持するチャック面13を有し、半導体ウエハ11を回転させる回転台15と、半導体ウエハ11上に供給された塗布液12の乾燥速度を調整する調整手段16とを含み、該調整手段が、チャック面13上の半導体ウエハ11から間隔をおいて配置され、駆動回転される回転板19と、該回転板に設けられ、該回転板の回転に伴って半導体表面上の塗布液12に乾燥のための空気流を送給するフィン20とを備える。
請求項（抜粋）：
表面に塗布液が供給される半導体ウエハを支持するチャック面を有し、前記半導体ウエハを回転させる回転台と、前記半導体ウエハ上に供給された前記塗布液の乾燥速度を調整する調整手段とを含み、該調整手段は、前記チャック面上の前記半導体ウエハから間隔をおいて配置され、駆動回転される回転板と、該回転板に設けられ、該回転板の回転に伴って前記半導体表面上の前記塗布液に乾燥のための空気流を送給するフィンとを備えることを特徴とするスピンコータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05C 11/08
, H01L 21/30 564 C
