特許

J-GLOBAL ID：200903008746712517

精密部品の洗浄方法

発明者： 嶋田 清
出願人/特許権者： 島田理化工業株式会社
代理人 (1件)： 栂村 繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329257
公開番号（公開出願番号）：特開平8-155408
出願日： 1994年12月05日
公開日（公表日）： 1996年06月18日
要約：

【要約】【目的】 基板のような精密部品の洗浄を充分に行ない、汚れがなく、洗浄剤の残存もない高品質の基板をうる。【構成】 オゾンガスを溶解させた水を被洗浄物に噴射し、ついでアルカリ性の洗浄剤で洗浄し、ついでオゾンを溶解させた水でリンスする。

請求項（抜粋）：

オゾンガスを溶解させた水を被洗浄物に噴射し、ついでアルカリ性の洗浄剤で洗浄することを特徴とする精密部品の洗浄方法。

IPC (5件)：

B08B 3/10 ,  C11D 7/02 ,  C11D 7/04 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-310604
  
• 特開昭53-106387
  
• 高周波洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-140268   出願人：株式会社プレテツク