特許
J-GLOBAL ID：200903008748116539
研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-010534
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202508
出願日： 1997年01月23日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】ウエハの表面に形成された薄膜の表面の凹凸の平坦化の研磨工程のように下地材料が露出しない状態で研磨を終了する研磨工程や下地材料が露出するまで研磨する場合であっても表層の薄膜と下地材料との研磨抵抗に顕著な差がない研磨工程においても、研磨終点を正確に検出し、ウエハを再現性良く研磨できる研磨方法を提供する。【解決手段】研磨抵抗が異なる層が積層されているダミーウエハSd を製品ウエハSn に加えて、研磨台3上のウエハ載置部1に載置し、この製品ウエハSn およびダミーウエハSd に研磨定盤5に被着された研磨パッド2を押し当て、それらと研磨パッド2との間に研磨スラリを供給し、ウエハ載置部1、研磨台3、研磨定盤5の少なくとも一つを回転させて製品ウエハSn およびダミーウエハSd を同時に研磨し、研磨定盤5を回転させる回転軸のトルクの時間変化からダミーウエハSdの研磨抵抗の変化を検出し研磨終点を判定する研磨方法。
請求項（抜粋）：
研磨台に設けられた複数の被研磨物載置部に載置された被研磨物に、研磨定盤に被着された研磨パッドを押し当て、被研磨物と研磨パッドとの間に研磨スラリを供給し、研磨台、被研磨物載置部および研磨定盤の少なくとも一つを回転させて複数枚の被研磨物を同時に研磨する研磨方法であって、前記複数枚の被研磨物に、研磨抵抗が異なる層が積層されているダミー被研磨物を混在させて研磨し、研磨定盤を回転させる回転軸、研磨台を回転させる回転軸およびダミー被研磨物が載置されている被研磨物載置部を回転させる回転軸の少なくとも一つのトルクを測定し、このトルクの時間変化に基づいて研磨終点を判定することを特徴とする研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, B23Q 17/09
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 D
, B23Q 17/09 A
, H01L 21/304 321 M
