特許

J-GLOBAL ID：200903008750471427

基板処理装置用薬液混合装置

発明者： 杉本 賢司 ,  藤崎 征也 ,  米村 潤一 ,  荒木 浩之 ,  池田 文浩
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161397
公開番号（公開出願番号）：特開平7-022369
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 外来要因の影響を受けることなく簡素な構造で薬液を安定供給する。【構成】 薬液混合装置は、基板処理装置の基板洗浄槽12に薬液と純水とを混合して供給する装置である。この装置は、純水供給管18と、薬液貯溜容器22A 〜22D と、薬液供給配管40と、耐食レギュレータ34が配置された窒素ガス配管39とを備えている。純水供給管18は、基板洗浄槽12に接続され、純水が通過する。薬液貯溜容器22A 〜22D は、薬液を貯溜する密閉式の容器である。薬液供給配管40の先端には、薬液貯溜容器22A 〜22D から純水供給管18へと薬液を導く薬液導入弁20A 〜20D が配置されている。窒素ガス配管39は、薬液貯溜容器22A 〜22D から薬液供給配管40へ薬液を圧送するため、薬液貯溜容器22A 〜22D 内を耐食レギュレータ34によって調整された圧力の窒素ガスで加圧する。

請求項（抜粋）：

基板処理装置の基板処理槽に薬液と純水とを混合して供給する基板処理装置の薬液混合装置であって、前記基板処理槽に接続され、前記純水が通過する液供給路と、前記薬液を貯溜する耐圧密閉槽と、前記耐圧密閉槽から前記液供給路へと薬液を導く薬液搬送路と前記薬液搬送路に設けられた薬液導入弁とを有する薬液搬送部と、前記耐圧密閉槽から前記薬液搬送路へ前記薬液を圧送するため、前記耐圧密閉槽内を加圧する加圧手段と、を備えた基板処理装置用薬液混合装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-093500
  
• 特開昭63-252538