クライオスタットの運転方法及びクライオスタット

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：小谷悦司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-193027
公開番号（公開出願番号）：特開2001-024243
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：

【要約】【課題】共通容器内に溜まる冷媒液の増加を少ないエネルギーで防止し、かつ、当該冷媒の液化率を向上させる。【解決手段】複数の被冷却体16を個別に収容する複数の個別容器14が共通の共通容器10内に一括して収容され、各個別容器に液体ヘリウム18などの冷媒液が収容されるクライオスタットとその運転を行う方法。前記冷媒液の蒸発ガスを液化冷凍装置30に取り込んで液化し、これを各個別容器14内に還元する一方、共通容器10に溜まった冷媒液をヒータ40等を用いて蒸発させて前記液化冷凍装置30に還元する。

請求項（抜粋）：

複数の被冷却体を個別に収容する複数の個別容器と、これらの個別容器を一括して収容する共通容器とを備え、各個別容器にその中の被冷却体を冷却するための冷媒液が収容されるクライオスタットを運転する方法であって、前記冷媒液の蒸発ガスを液化冷凍装置に取り込んで液化し、これを各個別容器内に還元する一方、前記共通容器に溜まった冷媒液を蒸発させて前記液化冷凍装置に還元することを特徴とするクライオスタットの運転方法。

IPC (4件)：

H01L 39/04 ZAA , F25B 9/00 , F25D 3/10 , H01F 6/04 ZAA

FI (4件)：

H01L 39/04 ZAA , F25B 9/00 F , F25D 3/10 A , H01F 7/22 ZAA G

Fターム (27件)：

3L044BA07 , 3L044CA16 , 3L044DB03 , 3L044EA02 , 3L044FA04 , 3L044GA02 , 3L044HA03 , 3L044JA03 , 3L044JA05 , 3L044KA04 , 3L044KA05 , 4M114AA05 , 4M114AA14 , 4M114AA19 , 4M114AA31 , 4M114BB01 , 4M114BB03 , 4M114BB07 , 4M114BB09 , 4M114CC03 , 4M114CC16 , 4M114DA02 , 4M114DA05 , 4M114DA08 , 4M114DA09 , 4M114DA26 , 4M114DA33

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