特許

J-GLOBAL ID：200903008774933871

荷電粒子光学系の軸合装置および荷電粒子光学装置

発明者： 小林 賢一 ,  穴澤 紀道
出願人/特許権者： 株式会社ホロン
代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-346836
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156215
出願日： 2004年11月30日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【目的】本発明は、磁界型あるいは静電型の1つあるいは複数のレンズから構成される荷電粒子光学系の軸合装置および荷電粒子光学装置に関し、レンズの軸合わせ時に悪影響を与えることなく簡単かつ正確に軸合わせし、かつ軸合わせ後は摩擦力で強固に自動的に固定して再移動を防止することを目的とする。【構成】 レンズを一定方向に移動させる、圧電素子および摩擦力で固定すると共に一定方向に運動するロータから少なくとも構成される駆動ユニットと、進行波の電圧を駆動ユニットを構成する圧電素子に印加してレンズを移動させて軸合する手段とを備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

磁界型あるいは静電型の1つあるいは複数のレンズから構成される荷電粒子光学系の軸合装置において、 前記レンズを一定方向に移動させる、圧電素子および摩擦力で固定すると共に一定方向に運動するロータから少なくとも構成される駆動ユニットと、 進行波の電圧を前記駆動ユニットを構成する圧電素子に印加してレンズを移動させて軸合する手段と を備えたことを特徴とする荷電粒子光学系の軸合装置。

IPC (3件)：

H01J 37/141 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/12

FI (3件)：

H01J37/141 Z ,  H01J37/04 B ,  H01J37/12

Fターム (6件)：

5C030AA08 ,  5C030AA09 ,  5C030AB02 ,  5C033CC06 ,  5C033DD05 ,  5C033DD10