特許
J-GLOBAL ID：200903008775737138
表面状態検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-263065
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072721
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】 複数の検査面を積層した被検査物の各検査面に付着した埃や塵等の異物を高精度に検出することができる表面状態検査装置を得ること。【構成】 複数の検査面を積層した被検査物1に上方と下方とから各々光束(LB、LP)を同時に入射させ、該検査面からの散乱光を検査面毎に設けた光検出手段(6,7,8,9)で検出し、該光検出手段からの信号を用いて該検査面の表面状態を検査する際、該被検査物の上方と下方とから各々入射させる光束の波長が互いに異なるようにし、各々の面の入射光束に対応した波長の散乱光を各々検出すること。
請求項（抜粋）：
複数の検査面を積層した被検査物に上方と下方とから各々光束を同時に入射させ、該検査面からの散乱光を検査面毎に設けた光検出手段で検出し、該光検出手段からの信号を用いて該検査面の表面状態を検査する際、該被検査物の上方と下方とから各々入射させる光束の波長域が互いに異なるようにし、各々の面の入射光束に対応した波長の散乱光を各々検出することを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (3件)：
G03F 1/08
, G01N 21/88
, H01L 21/66
