特許

J-GLOBAL ID：200903008780549420

加速度センサ

発明者： グーイド チュレナ
出願人/特許権者： バテレ-インスティトゥート エー ファオ
代理人 (1件)： 伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-296163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050984
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 技術的に簡単且つ高精度でコンパクトに実現可能なものに改良した加速度センサを提供することを目的とする。【構成】 2本の弾力的な薄いウエブ3を介してフレーム1の左の縁に支持され、オプティカルファイバー4が、フレーム1の縁から地震性質量2の右の自由端まで延びているV-字形の溝5の中に固定されている。別のオプティカルファイバー6は、オプティカルファイバー4によって案内される光線の束のための受取りファイバーとして使われる。この受取り用のオプティカルファイバー4に光検波装置(シリコンフォトダイオード又はシリコンフォトトランジスタ)が接続され、加速度を制限された地震性質量2が回折する場合、光の伝達の差異をオプティカルファイバー4で把握する。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの光源と、地震性質量上又はこの地震性質量の上方を案内され、この地震性質量の運動と関係して回折させられるこの光源から出る光線及び、加速度と依存関係にあるその回折なしで済ます少なくとも1個の光学検波装置を有し、加速度に反応するプレート状であって、しかも、1本又は複数本のウエブにより移動自在に支持されているその地震性質量を用いて、1又は複数の方向への加速度を測定するための加速度センサにおいて、波導管トラック(7)の形状を呈する前記光源から供給される最初の光波導管は、前記ウエブにより固定フレーム(1)内に支持されている前記地震性質量(2)の上に設けられており、又、同じく波導管トラックとして形作られている少なくとも第2の光波導管(8)は、前記固定フレーム上で前記最初の光波導管と向かい合わせに前記検波装置の一部として配置されていることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/02 ,  G02B 6/00