特許
J-GLOBAL ID：200903008782546178
異径被処理体用ボート及びそれを用いた被処理体の移し換え方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120135
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291166
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 異径のウエハに共用できる縦型熱処理炉用のボートを提供すること。さらに、そのボートを用いることで、移し換えのための動作位置のティーチングを、異径のウエハ毎に行う必要のない移し換え方法を提供すること。【構成】 縦型処理装置にて被処理体をバッチ処理する際に用いられるボート30は、縦軸方向に伸びる例えば4本のロッド10を有する。この各ロッド10は、縦軸方向で所定間隔毎に形成され、かつ、5インチ及び6インチのウエハ20,22の外縁部を支持するに足る長さの水平に伸びる係止部12を有する。ウエハを一枚または複数枚ずつ支持して搬送するアームを用いてボート30にウエハを移し換える際には、ボート30の縦軸方向で隣り合う2つの係止部12,12間に挿入するアームの高さ位置と、アームとボート30とを縦軸方向で相対的に移動させることによりウエハを移し換えた後のアームの高さ位置とが、異径のウエハで同一となるように設定して移し換えを行う。
請求項（抜粋）：
縦型処理装置にて被処理体をバッチ処理する際に用いられ、かつ、異径の前記被処理体に共用されるボートであって、縦軸方向に伸びる少なくとも3本のロッドと、この各ロッドの縦軸方向で所定間隔毎に形成され、かつ、最小径から最大径の各種被処理体の外縁部を支持するに足る長さの係止部と、を有することを特徴とする異径被処理体用ボート。
IPC (2件)：
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