特許
J-GLOBAL ID:200903008783628887
凸状膜の形成方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大野 精市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-380896
公開番号(公開出願番号):特開2003-186004
出願日: 2001年12月14日
公開日(公表日): 2003年07月03日
要約:
【要約】【課題】 複数の要求散乱特性に対して、共通の塗布液を使用できる凸状部の制御方法を確立し、塗布液の調合回数や入れ替え頻度の増加を抑え、コーティング設備の稼働率の低下を防止して製造コストを低下させることができる凸状膜の形成方法を提供する。【解決手段】 少なくとも1種類の膜成分及び少なくとも2種類の溶媒からなるゾル状塗布液をガラス基板20上に塗布して塗布層41を形成する形成工程と、塗布層41において均質化に有効に働いていた溶媒を選択的に除去しながら乾燥させ、相分離に有効に働く溶媒と膜成分間または膜成分相互間の表面張力差を利用して相分離する相分離工程と、溶媒を除去し、膜成分をゲル化するゲル化工程とを有する凸状膜の形成方法において、前記塗布層41に対する乾燥温度を200°C〜500°C、且つ乾燥時間を1分間〜24時間に制御するようにした。
請求項(抜粋):
少なくとも1種類の膜成分及び少なくとも2種類の溶媒からなるゾル状塗布液を基板上に塗布して塗布層を形成する形成工程と、前記塗布層において均質化に有効に働いていた前記溶媒を選択的に除去しながら乾燥させ、相分離に有効に働く前記溶媒と前記膜成分間または前記膜成分相互間の表面張力差を利用して相分離する相分離工程と、前記溶媒を除去し、前記膜成分をゲル化するゲル化工程とを有する凸状膜の形成方法において、前記塗布層に対する乾燥温度を200°C〜500°C、且つ乾燥時間を1分間〜24時間に制御することを特徴とする凸状膜の形成方法。
IPC (4件):
G02F 1/1335 520
, G02B 5/02
, G02B 5/08
, G02F 1/13357
FI (5件):
G02F 1/1335 520
, G02B 5/02 B
, G02B 5/08 A
, G02B 5/08 B
, G02F 1/13357
Fターム (20件):
2H042BA03
, 2H042BA13
, 2H042BA15
, 2H042BA20
, 2H042DA01
, 2H042DA02
, 2H042DA04
, 2H042DA08
, 2H042DA12
, 2H042DC02
, 2H042DD00
, 2H042DE00
, 2H091FA16X
, 2H091FA16Z
, 2H091FA32X
, 2H091FA32Z
, 2H091FB02
, 2H091FB13
, 2H091LA12
, 2H091MA10
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