特許

J-GLOBAL ID：200903008790459535

感光性重合体組成物並びにこれを用いた電子部品及びその製造法

発明者： 上田 篤
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-014870
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213901
出願日： 1997年01月29日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 良好な感光性を有し、かつ、配線段差の平坦化性が良好な感光性重合体組成物、配線段差の平坦化性が良好な層間絶縁膜及び/又は表面保護膜を形成できる電子部品の製造法並びに電子部品を提供する。【解決手段】 (a)一般式(I)で表される繰り返し単位を含有し、その一部のR2及びR3は炭素原子数4以下の炭化水素基であるポリイミド系樹脂前駆体、(b)一般式(II)で表されるアジド化合物、並びに(c)アクリル酸及び/又はメタクリル酸を含有してなる感光性重合体組成物、この感光性重合体組成物を塗布して樹脂膜を形成し、次いで露光及び現像を行い、その後、樹脂膜を硬化させて層間絶縁膜及び/又は表面保護膜を形成することまた前記露光及び現像を行ってビアホールを形成した後、樹脂膜を硬化させて層間絶縁膜とし、その上に上層配線層を1回又は2回以上形成することを特徴とするる電子部品の製造法。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)【化1】(式中、R1は4価の芳香族基を示し、R2及びR3は水素又は炭素原子数4以下の炭化水素基を示し、R4は3価の芳香族基を示し、R5及びR6は水素又は炭素原子数3以下の炭化水素基を示す)で表される繰り返し単位を含有し、前記繰り返し単位の少なくとも一部のR2及びR3は炭素原子数4以下の炭化水素基であるポリイミド系樹脂前駆体、(b)一般式(II)【化2】(式中、R7は炭素原子数2以上の2価の有機基を示す)で表されるアジド化合物、並びに(c)アクリル酸及び/又はメタクリル酸を含有してなる感光性重合体組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/027 501 ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768

FI (6件)：

G03F 7/037 501 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/008 ,  G03F 7/027 501 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/90 S