特許

J-GLOBAL ID：200903008792809908

半導体処理装置管理システムおよび半導体処理装置管理方法

発明者： 末 田 始
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 吉武 賢次 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-091965
公開番号（公開出願番号）：特開2003-289025
出願日： 2002年03月28日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】【課題】 半導体処理装置の稼働率およびQC作業の頻度のいずれをも低下させることなくQC作業を行うことができる半導体処理装置管理システムおよび半導体処理装置管理方法を提供する。【解決手段】 本発明による半導体処理装置管理システムは、半導体製造工程のうちのある工程において半導体を処理する複数かつ同種の半導体処理装置110、120と、半導体処理装置110、120により処理されたときの半導体の結果データを受信し、結果データに基づいて半導体処理装置間を統計的かつ相対的に比較するコンピュータ130と、コンピュータ130によって比較された結果に基づいて、少なくとも複数かつ同種の前記半導体処理装置のうちに異常な半導体処理装置が含まれていることを示す警告表示を表示することができる表示装置140とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体製造工程のうちのある工程において半導体を処理する複数かつ同種の半導体処理装置と、前記半導体処理装置により処理されたときの半導体の結果データを受信しかつ保存し、総ての前記半導体処理装置の前記結果データの分散と個々の前記半導体処理装置の前記結果データの分散との差に基づいて計算された有意確率、若しくは、総ての前記半導体処理装置の前記結果データの平均値と個々の前記半導体処理装置の前記結果データの平均値との差に基づいて計算された有意確率を、前記半導体処理装置の種類ごとに設定された有意水準と比較することによって、前記半導体処理装置間に有意な差があるか否かを検定するコンピュータと、該コンピュータによって検定された結果に基づいて、少なくとも複数かつ同種の前記半導体処理装置のうちに異常な半導体処理装置が含まれていることを示す警告表示を表示することができる表示装置とを備えた半導体処理装置管理システム。

IPC (5件)：

H01L 21/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

H01L 21/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/66 Z ,  H01L 21/265 Z ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (6件)：

4M106AA01 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  5F046AA28