特許

J-GLOBAL ID：200903008797752432

投影光学系

発明者： 高橋 友刀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-276499
公開番号（公開出願番号）：特開平11-095095
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】大きな開口数を有し、しかも光学系の最大有効径が十分に小さい投影光学系を提供する。【解決手段】第1面Rの像を第2面Wに投影する投影光学系において、第1面R側から順に、2枚以上の正レンズを含む正屈折力の第1レンズ群G1と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第2レンズ群G2と、3枚以上の正レンズを含む正屈折力の第3レンズ群G3と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第4レンズ群G4と、連続した少なくとも6枚以上の正レンズを含む正屈折力の第5レンズ群G5とで構成され、第4レンズ群G4又は第5レンズ群G5に1面の非球面*を有し、第5レンズ群G5の内部に開口絞りASを有し、開口絞りASの直前の発散光の部分に負屈折力の第1の空気レンズLAを有し、第1の空気レンズLAの第1面側のレンズ面の曲率半径rA1が正であり、開口絞りASの後側の収れん光の部分に負屈折力の第2の空気レンズLBを有する。

請求項（抜粋）：

第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、前記第1面側から第2面側に向けて順に、2枚以上の正レンズを含む正屈折力の第1レンズ群と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第2レンズ群と、3枚以上の正レンズを含む正屈折力の第3レンズ群と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第4レンズ群と、連続した少なくとも6枚以上の正レンズを含む正屈折力の第5レンズ群とで構成され、前記第4レンズ群と第5レンズ群とのいずれか一方に1面の非球面を有し、前記第5レンズ群の内部に開口絞りを有し、該開口絞りの直前において光束が発散している部分に負屈折力の第1の空気レンズを有し、該第1の空気レンズの前記第1面側のレンズ面の曲率半径が正であり、前記開口絞りの後側において光束が収れんしている部分に負屈折力の第2の空気レンズを有することを特徴とする投影光学系。

IPC (3件)：

G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D