特許

J-GLOBAL ID：200903008800271890

プラズマ状態検出装置及びその方法並びにエッチング終点検出装置及びその方法

発明者： 宮下 武 ,  依田 英徳 ,  山口 久夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社 ,  日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-103575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-266098
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】 プラズマ放電異常の初期状態を無線で検出することができるプラズマ状態検出装置及びその方法を提供すること。【解決手段】 、高周波電源3からの高周波電圧がプラズマ発生部5に印加され、プラズマ放電が生成される。このプラズマ放電に起因して生ずる高周波信号は、アンテナ51にて受信されて、スペクトル検出部1に送られる。このスペクトル検出部1では、特定の高調波スペクトルが検出され、電圧比較器23にて高調波スペクトルと基準値とが比較される。高調波スペクトルが基準値を越えた時に、プラズマ放電異常を示す信号が制御回路31に送られる。制御回路31では、送られた信号に基づいて、正常なプラズマ放電を生成するように、RF出力パワー制御部33、電極間ギャップ制御部34及びガス流量制御部35のいずれか一つを制御する。

請求項（抜粋）：

交流電源からの交流電圧を一対の電極に印加することで前記一対の電極間に生成されるプラズマ放電の状態を、前記交流電源の基本周波数以外の特定周波数のスペクトルに基づいて検出するプラズマ状態検出装置であって、前記一対の電極間に生成されるプラズマより発振される電磁波を受信するアンテナと、前記アンテナを介して受信された電磁波のうち、前記特定周波数に同調させて、前記特定周波数のスペクトルを検出する同調・検出回路と、を有することを特徴とするプラズマ状態検出装置。

IPC (5件)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/50

FI (6件)：

H05H 1/46 Z ,  C23F 4/00 F ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/302 E