特許
J-GLOBAL ID:200903008800922522

セラミック基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石黒 健二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-003401
公開番号(公開出願番号):特開平5-185413
出願日: 1992年01月10日
公開日(公表日): 1993年07月27日
要約:
【要約】【目的】 一度に多数のセラミックグリーンシートの焼成が可能であるとともに、完成後のセラミック基板の表面に傷が付き難いセラミック基板の製造方法の提供。【構成】 セラミック基板製造システムAは、グリーンシート10を打抜きにより製造するグリーンシート製造装置1と、移送台21、凹部212内で回転する転写ドラム22、冷却器23、及び空気供給手段24を備える目砂転写装置2と、目砂転写装置2に液状の目砂30を供給する目砂供給装置3と、段積み体40を焼成炉へ移送する搬送装置4とで構成される。
請求項(抜粋):
熱で軟化、または紫外線で硬化、または水分の蒸発により乾燥する液状樹脂中に焼結セラミック粉末を均等に存在させた液状のペーストを、シート主端面に均一的に被着させたセラミックグリーンシートを複数個製造し、これらを、前記ペーストの、硬化後または乾燥後に積み重ねて段積み体を製造し、該段積み体を焼成した後、分離して複数個のセラミック基板を得るセラミック基板の製造方法。
IPC (4件):
B28B 11/00 ,  B28B 1/30 101 ,  C04B 35/64 ,  H05K 1/03

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