特許
J-GLOBAL ID：200903008804087946
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-223204
公開番号（公開出願番号）：特開平6-050707
出願日： 1992年07月30日
公開日（公表日）： 1994年02月25日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 走査型トンネル顕微鏡における測定のための走査において、各測定箇所での探針のZ軸方向の位置制御を迅速かつ正確に行うことにより、各測定箇所での測定時間を短くし、測定時間全体を短縮する。【構成】 探針1と、トンネル電流を流すための電源6と、探針のZ軸方向の移動を行う圧電素子5等と、探針を走査させる走査部10と、基準値に基づきトンネル電流を設定値に保つように探針の位置を調整するサーボ回路7と、サーボ回路7と走査部10の制御量を格納する測定データ記憶部12と、測定データ記憶部12のデータを処理するデータ処理部13を含み、さらに、測定対象領域の凹凸状態を測定するとき、前もって走査領域の凹凸状態を測定し、その測定データに基づき測定対象領域の予測データを生成する予測データ生成手段13と、予測データを格納する予測データ記憶部14を備える。
請求項（抜粋）：
試料に対して配置される探針と、探針・試料間に電圧を与える電圧印加手段と、前記試料に対し前記探針を接近または退避させる移動手段と、前記探針に前記試料を走査させる走査手段と、トンネル電流を検出しかつ基準値に基づき一定値に保つように前記移動手段を介し探針・試料間の距離を調整する制御手段と、前記制御手段と前記走査手段で発生した探針位置制御のための制御量を格納する測定データ記憶手段と、前記測定データ記憶手段に格納されたデータを処理するデータ処理手段を含む走査型トンネル顕微鏡において、試料表面における特定の測定対象領域の凹凸形状を測定するとき、前もって前記測定機構を用いて前記測定対象領域を含む試料表面の凹凸形状を測定し、その測定データに基づき前記測定対象領域の予測データを生成する予測データ生成手段と、生成された前記予測データを格納する予測データ記憶手段を備え、前記測定対象領域を測定するとき、前記測定対象領域の各測定箇所における探針の軸方向位置制御で、前記予測データ記憶手段から、前記基準値の初期値として各測定箇所に対応する前記予測データが、前記制御手段に与えられる構成を有することを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
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