特許

J-GLOBAL ID：200903008807835021

ブランクスおよび反射型マスクの検査方法および検査装置

発明者： 老泉 博昭 ,  伊東 昌昭 ,  山梨 弘将 ,  寺澤 恒男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-157130
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354404
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】多層膜ブランクスや反射型マスクの全面を検査の高スループット化と、反射型マスクの多層膜中でのEUV光の位相の変化を起こさせる欠陥検査の高分解能化をはかる。【解決手段】多層膜ブランクスに容易に剥離可能なパターンを形成し、このパターン付き多層膜ブランクスをEUV光で所定の光学系を介して露光し、その像を検査する。

請求項（抜粋）：

基板に極紫外線が反射可能な多層膜が形成されたブランクスに、剥離可能なパターンを形成する工程と、上記パターンを有する多層膜ブランクスを極紫外線で所定の光学系を介して露光転写して像を得る工程と、上記像の検査をする工程とを含むことを特徴とするブランクスの検査方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/08

FI (3件)：

H01L 21/30 531 M ,  G01N 21/88 E ,  G03F 1/08 K