光ビームの走査線偏位量検出方法および光ビーム走査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180116
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002142
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】光ビームが正確に目標位置を走査することができるようにした比較的安価な光ビーム走査装置を提供することにある。【構成】ビーム位置検出センサ7A,7Bにより検出したビーム位置データに基づいて予測総偏位量を演算し、この予測総偏位量に基づいて補助偏向器3のピエゾ素子3cを活性化することにより、主偏向器4により偏向される光ビームが被記録体6上の目標位置を走査するようにしている。【効果】光偏向器は偏向面以外の面の加工に高い精度を要求されず、また光ビームの走査位置を補正するための専用の検出器も必要としない。

請求項（抜粋）：

被走査面の走査開始点および/または走査終了点で、光偏向器により主走査方向に周期的に偏向された光ビームの副走査方向のビーム位置データを複数個検出する工程と、検出したビーム位置データを平均化して、走査開始点および/または走査終了点における前記光ビームの副走査方向の定常偏位量を演算する工程と、を含むことを特徴とする光ビームの走査線偏位量検出方法。

IPC (3件)：

G02B 26/10 , G03G 15/04 116 , H04N 1/04 104

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-183423
特開昭60-010221

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