特許
J-GLOBAL ID：200903008811926848
2軸マイクロミラーを用いた光学スイッチを構成するマイクロマシン
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-011004
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242396
出願日： 2001年01月19日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】【課題】入力からの光信号を線形構成に制限されない複数の出力の一つに正確かつ再現可能にして向けることのできるマイクロマシンを提供すること。【解決手段】光信号の操向を行う光スイッチを構成するマイクロマシンは、第1のマイクロミラー・アレイ16及び第2のマイクロミラー・アレイ18を含む。コリメータ・アレイ12から出射される入射ビームは、これらのマイクロミラー・アレイ16、18を介して、コリメータ・アレイ14のコリメータの一つに導かれる。マイクロミラー・アレイ16、18は、静電気により回転動作するよう構成される。
請求項（抜粋）：
光信号の操向を行うためのマイクロマシンであって、基板と、該基板に対する移動が可能になるように、該基板に隣接して支持された、マイクロミラーと、それらの両端間に印加される電圧パターンに応答して、第1の静電力を発生するように、アライメントがとられて構成される第1と第2の組をなす電極を含んでおり、前記マイクロミラーに連係し、前記第1の静電力に応答して、前記基板に対して前記マイクロミラーを選択的に回転させる働きをする、第1の表面静電装置と、それらの両端間に印加される電圧パターンに応答して、第2の静電力を発生するように、アライメントがとられて構成される第3と第4の組をなす電極を含んでおり、前記マイクロミラーに連係し、前記第2の静電力に応答して、前記基板に対して前記マイクロミラーを選択的に回転させる働きをする、第2の表面静電装置が含まれており、前記第1の表面静電装置の操作による前記マイクロミラーの回転が、前記第2の表面装置の前記マイクロミラー操作によって辿ることになる角度経路とは別個の角度経路を辿ることを特徴とするマイクロマシン。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
