特許
J-GLOBAL ID：200903008812441678
露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321993
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211632
出願日： 1981年03月02日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハの傾きを矯正した後、半導体ウエハ上面の平坦度に追従し、さらに露光中にも自動的に焦点合わせを行いながら露光を行うことにより、半導体ウエハ上面の平坦度が悪い場合や露光中にも常に焦点の正確に合った露光を行える露光装置を提供する。【構成】 半導体ウエハの移動手段10、該半導体ウエハ上面までの距離を検出する検出手段19、該半導体ウエハ上面の傾きを矯正する駆動手段13a、14a、17、および自動的に焦点合わせしながら露光する手段(10、19、22、17)とを有する。
請求項（抜粋）：
光源、原画、縮小レンズを備えた露光装置であって、該縮小レンズ直下の半導体ウエハ上面までの偏差を検出する検出手段と、少なくとも3ヶ所の該偏差を一定になるように該半導体ウエハ上面の傾きを矯正する矯正手段と、該矯正後、該検出手段を用いて該半導体ウエハ上面の被露光領域を自動的に焦点合わせしながら該原画パターンを逐次露光する露光手段とを有することを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G03F 7/207
, G03F 9/00
, H01L 21/68
