特許

J-GLOBAL ID：200903008823729673

レーザーマイクロジセクション方法および装置

発明者： ミヒャエル ガンザー
出願人/特許権者： ライカ マイクロシステムス ヴェツラー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 伊藤 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265864
公開番号（公開出願番号）：特開2002-156316
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2002年05月31日
要約：

【要約】【課題】レーザーマイクロジセクション方法及び装置において、試料観察・検査領域を試料から合目的に切り離すことができ、試料観察・検査領域の折り返しを阻止する前記方法および装置を提供する。【解決手段】方法において、a)試料観察・検査領域(23)を取り囲みウェブ(26,27,28)により中断されている切断線(25)に沿ってレーザー光線(7)によりウェブ(26,27,28)を含むパーフォレーションを形成するステップであって、パーフォレーションが、切断線(25)を中断させている少なくとも2つのウェブ(26,27,28)を有し、これらのウェブが、試料観察・検査領域(23)を、該観察・検査領域を取り囲んでいる試料(4)と接続させている前記ステップと、b)試料観察・検査領域(23)に指向されデフォーカスされた1つのレーザーパルスによりパーフォレーションのウェブ(26,27,28)を切除して、試料観察・検査領域(23)を試料(4)から切り離すステップとを含んでいる。

請求項（抜粋）：

試料ホールダ(3)に取り付けられている試料(4)の試料観察・検査領域(23)をレーザーマイクロジセクションする方法において、a)試料観察・検査領域(23)を取り囲みウェブ(26,27,28)により中断されている切断線(25)に沿ってレーザー光線(7)によりウェブ(26,27,28)を含むパーフォレーションを形成するステップであって、パーフォレーションが、切断線(25)を中断させている少なくとも2つのウェブ(26,27,28)を有し、これらのウェブが、試料観察・検査領域(23)を、該観察・検査領域を取り囲んでいる試料(4)と接続させている前記ステップと、b)試料観察・検査領域(23)に指向されデフォーカスされた1つのレーザーパルスによりパーフォレーションのウェブ(26,27,28)を切除して、試料観察・検査領域(23)を試料(4)から切り離すステップと、を含んでいることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01N 1/04 ,  G01N 1/28 ,  G01N 33/48

FI (6件)：

G01N 1/04 G ,  G01N 1/04 H ,  G01N 1/04 X ,  G01N 33/48 S ,  G01N 33/48 T ,  G01N 1/28 F

Fターム (26件)：

2G045FA12 ,  2G045FA16 ,  2G045FA19 ,  2G045HA06 ,  2G045HA09 ,  2G045JA01 ,  2G045JA07 ,  2G045JA20 ,  2G052AA28 ,  2G052AD14 ,  2G052AD34 ,  2G052AD54 ,  2G052BA15 ,  2G052CA03 ,  2G052CA08 ,  2G052DA07 ,  2G052EC17 ,  2G052FD04 ,  2G052FD05 ,  2G052FD20 ,  2G052GA11 ,  2G052GA32 ,  2G052HB06 ,  2G052HC04 ,  2G052HC34 ,  2G052JA06