特許
J-GLOBAL ID：200903008824908229
パターン認識装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-292260
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124866
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【目的】本発明はパターン認識装置において、特定のパターンを誤認識することなく正確かつ高速に識別しようとするものである。【構成】走査手段の相対走査によつて得られるアナログ信号の波形を、パターン認識する為の前処理として微分又は微分に加えて重み付けした後、複数のパターンあるいは単なるエツジの設計上の間隔量だけ、間隔方向にシフトさせた波形とシフト前の波形とを加算又は乗算によつて合成することで、特定パターンの波形上の位置に対応した部分波形のみを強調することができる。これにより元々のアナログ信号に重畳してくるノイズが多い場合でも、合成波形上では相対的にS/N比が向上し、高速かつ高い精度で特定パターンを認識し得る。
請求項（抜粋）：
ほぼ同一形状のパターンの複数を位置検出すべき方向に所定間隔で形成した物体を保持する保持手段と、前記複数のパターンを含む前記物体上の所定範囲を前記位置検出方向に走査して、該所定範囲内の光学的な特性変化に応じてレベル変化するアナログ信号を出力する走査手段とを有し、該アナログ信号を解析することによつて前記複数のパターンのうちの特定のパターンの位置を認識するパターン認識装置において、前記走査手段の走査により得られる前記アナログ信号の波形を、前記物体上の走査位置に対応させて記憶する記憶手段と、該記憶手段に記憶された前記アナログ信号の波形を読み出すと共に、該アナログ信号の微分波形を求める微分手段と、前記複数のパターンの所定間隔に対応した量だけ前記微分波形を前記走査の方向にシフトさせた波形と元の波形とを合成して、前記特定のパターンに対応した波形部分を他のパターンに対応した波形部分によつて強調した合成波形を出力する波形合成手段と、前記合成波形の強調された波形部分を検出することによつて前記特定のパターンの位置を識別する識別手段とを具えることを特徴とするパターン認識装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G01B 11/24
, G03F 1/08
, G03F 9/00
, G06F 15/62 405
